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简介
快科技9月8日消息,Intel前不久出乎意外地宣布他们已经在18A工艺上就使用了High NA EUV光刻机,这比预定的14A工艺才导入这一技术提前了2年之久。 现在Intel及ASML联合宣布了High NA EUV光刻机已经量产了100万片晶圆,这也是该技术的一个重要里程碑。 前不久ASML公布的消息是High NA EUV在全球多个工厂中已经量产了135万片晶 ...
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